技术介绍
南京诺德新能源科技有限公司一直致力于4/6/8英寸硅氮化镓外延材料、器件制备技术的研究、开发与生产。南京诺德新能源科技有限公司由海外归国的资深材料生长、器件制备专家带领,建立了自主知识产权的专利技术,完全可以满足电力电子器件的应用需求。
材料指标
l 材料厚度:3.5-8微米;
l 击穿电压 >750V;
l 方块电阻<350Ω/□;
l 二维电子气特性:浓度ns=6E12cm-2-1.4E13cm-2;室温迁移率1300-2300 cm2 / V s

材料结构
l 标准HMET结构:20-25nmAlGaN (Al组分22%-28%可控)
l 2nm-10nmSiNx表面钝化层结构;
l 10nm InAlN结构;
l 标准50-150nmpGaN增强型结构;
l 其它各种定制材料结构;
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